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CVD涂层的发展方向

文章出处:作者:浏览次数:发表时间:2014/2/12 14:43:18
(1)发展重荷和铣削用的涂层合金
    目前涂层刀片在铣削条件下使用效果不太好,其主要原因是抗机械震动和抗热振性较差。如能克服这一缺点,涂层刀片将获得更广泛应用。
(2)发展低温CVD和中温CVD
    一般CVD法多在1000℃左右的高温下进行,易生成η相和破坏基体韧性。而低温CVD一般在650℃以下进行,可以避免高温引起的涂层张应力和涂层与基体界面上相的形成。
    中温CVD一般在700~900℃下进行,以乙腈为含碳气体原料,沉积出Ti(CH)涂层。
    由于此法沉积温度较低,涂层生长快,沉积时间短,所以相大大减少,刀片韧性好,抗冲击性好,耐磨性也不比高温CVD涂层差。
(3)发展组合涂层和固溶体涂层
     早期只进行单层TiCTiN涂层,但很快发展到TiCTiN积层涂层,甚至三层涂层,比如由TiC(Ti(CN)A12O3组成的复合涂层。由于组合涂层能分别以不同的涂层材料来满足抗磨损性能,与基体结合性能等不同的要求,故能获得比单一涂层好得多的性能。
(4),发展氧化物涂层
      氧化物涂层常用在陶瓷工具经常使用但有容易崩刃和破损的场合,其工具寿命可比陶瓷长34倍。
 
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